當燃煤電廠污染物需達到超低排放的要求時，可采用以低低溫電除塵技術為核心的煙氣協同治理技術路線，如圖所示。當煙塵排放限值為mg/m，且不設置WESP時，低低溫電除塵器出口煙塵濃度宜小于mg/m，濕法脫硫裝置的除塵效率應不低于%。當煙塵排放限值為mg/m，且不設置WESP時，低低溫電除塵器出口煙塵濃度宜小于mg/m，濕法脫硫裝置的除塵效率應不低于%。網絡分析儀是一種功能強大的儀器，正確使用時，可以達到極高的精度。
  它的應用也十分廣泛，在很多行業都不可或缺，尤其在測量無線射頻RF)元件和設備的線性特性方面非常有用。現代網絡分析儀還可以應用于更具體的場合，例如，信號完整性和材料的測量。隨著業界款PXI網絡分析儀-NIPXIe-的推出，你完全可以擺脫傳統網絡分析儀的高成本和大占地面積的束縛，輕松地將網絡分析儀應用于設計驗證和產線測試。你可以使用圖所示的NIPXIe-矢量網絡分析儀測量設備的幅度，相位和阻抗。由于網絡分析儀是一種封閉的激勵-響應系統，你可以在測量RF特性時實現絕佳的精度。
  當然，充分理解網絡分析儀的基本原理，對于你大限度的受益于網絡分析儀非常重要。在過去的十年中，矢量網絡分析儀由于其較低的成本和高效的制造技術，流行度超過了標量網絡分析儀。雖然網絡分析理論已經存在了數十年，但是直到世紀年代早期臺現代獨立臺式分析儀才誕生。在此之前，網絡分析儀身形龐大復雜，由眾多儀器和外部器件組合而成，且功能受限。NIPXIe-的推出標志著網絡分析儀發展的又一個里程碑，它將矢量網絡分析功能成功地賦予了靈活，軟件定義的PXI模塊化儀器平臺。

通常我們需要大量的測量實踐，才能實現精確的幅值和相位參數測量，避免重大錯誤。由于射頻儀器測量的不確定性，小的錯誤很可能會被忽略不計。而網絡分析儀作為一種精密的儀器能夠測量出極小的錯誤。網絡是一個被高頻率使用的術語，有很多種現代的定義。就網絡分析而言，網絡指一組內部相互關聯的電子元器件。網絡分析儀的功能之一就是量化兩個射頻元件間的阻抗不匹配，大限度地提高功率效率和信號的完整性。每當射頻信號由一個元件進入另一個時，總會有一部分信號被反射，而另一部分被傳輸，類似于圖所示。

 

因此應考慮發動機可能有失火現象,應進一步檢查點火系統是否有輕微斷路或短路，特別是短路故障。有一個缸的高壓線有輕微短路漏電)現象，為此更換高壓線。因火花塞間隙偏大且已使用萬km，也同時更換。清洗噴油器，觀察各缸噴油器的霧化狀態和流量的均勻性。復檢發現發動機抖動稍有改善，但未徹底消除；尾氣檢查HC值下降不大，并仍有波動分析認為故障仍可能是失火原因所致。為了進一步診斷故障，分別在左右兩側排氣歧管氧傳感器旁邊的尾氣檢測口該口通常是用一個螺栓密封的)進行尾氣檢測。
  左側氣缸排出尾氣的左右，HC值在左右因在催化器前測量，其值會比在排氣尾管測量值稍高)，且波動極小。而右側氣缸排出尾氣的左右，但HC值卻在且時有波動。因此問題應在右側氣缸中。為此又檢查了右側氣缸的高壓線和火花塞，發現缸的火花塞個電極中有一個間隙過小。經調整后，重新安裝，故障完全消除，尾氣檢測值也符合出廠標準。今后隨著排放法規的日益嚴格，安裝催化轉化器的車型會越來越多，故在進行尾氣測量時，應盡可能在催化轉化器前方測量，這樣更可能真實反映發動機的排放情況。
  同時還應將催化轉化器前和后的測量結果加以比較，以便判斷催化轉化器的轉化效率是否正常。對裝有系統的車型，可從讀取的故障代碼和數據參數中分析其催化轉化器的轉化效率。綜上所述，在對有故障的車輛做完必要的常規檢查之后，使用尾氣分析儀可以很快發現故障的本質原因，縮小檢修范圍。此外，尾氣分析儀在對燃油系統的檢查，可以精簡檢修環節。假如是應急修理，則在未做相關檢查之前，就用尾氣分析儀進行檢測，也許在診斷一開始就能找到故障點。
  尾氣分析儀作為一種輔助診斷設備，確實是一種方便快捷的檢測工具，如果維修人員能夠熟練地運用發動機原理，對混合氣成因及燃燒過程進行深入分析，那么尾氣分析儀一定會在汽車故障檢測診斷，發揮更大的作用。網絡分析儀是一種功能強大的儀器，正確使用時，可以達到極高的精度。它的應用也十分廣泛，在很多行業都不可或缺，尤其在測量無線射頻RF)元件和設備的線性特性方面非常有用。現代網絡分析儀還可以應用于更具體的場合，例如，信號完整性和材料的測量。
  隨著業界款推出，你完全可以擺脫傳統網絡分析儀的高成本和大占地面積的束縛，輕松地將網絡分析儀應用于設計驗證和產線測試。在過去的十年中，矢量網絡分析儀由于其較低的成本和高效的制造技術，流行度超過了標量網絡分析儀。雖然網絡分析理論已經存在了數十年，但是直到世紀年代早期臺現代獨立臺式分析儀才誕生。在此之前，網絡分析儀身形龐大復雜，由眾多儀器和外部器件組合而成，且功能受限。推出標志著網絡分析儀發展的又一個里程碑，它將矢量網絡分析功能成功地賦予了靈活，軟件定義的PXI模塊化儀器平臺。

 介于掃頻儀和矢量天線分析儀之間，還有一種“半矢量天分”，它具有某種形式的測試相位或阻抗的能力，但是并不提供校準功能。用它測一支100Ω純電阻的天線，如果連接了相當于八分之一波長的電纜，就會被測成40-j30Ω。做這種測試時必須進行人工修正，否則具有迷惑性。合理利用這種天分，可以對天線、放大器的輸入阻抗進行調試，可以測得天線、線圈的諧振點。如果軟件支持的話，也能當信號源使用。量天分是標準的網絡分析儀，可以測得復數的S11參數及由它衍生而來的一系列數據。由于具備完善的校準功能，所能測試的回波損耗范圍通常優于50dB，測得的阻抗也是可信的。對一個頻帶的測試數據進行傅里葉逆變換，可以得到若干時域參數，比如電纜在不同距離上的回損。矢量天分在通信以外的領域也得到了一定程度的應用，例如測試農作物的含水量。帶跟蹤源的頻譜儀和帶跟蹤接收機的標量網分具有與掃頻儀類似的用途，但是它們都具備優良得多的動態范圍和較好的選擇性，可以用于強干擾條件下的天線測量和大陷波比的陷波器調試，例如調試雙工器。全功能的雙端口或多端口矢網囊括了上述所有用途，具備強大的分析功能。需要提到的是全功能矢網一般標配群延時顯示和功率掃描功能。后者可以對器件的非線性特性進行分析。 網絡分析儀的種類五花八門，遠不止上面幾種。它們都具有信號源和若干個幅度或相位幅度檢測通道。結合必要的信號分配裝置，內置或外置的定向電橋、耦合器構成完整的儀器。網分的用途也不是固定的，懂得它的測量原理之后，可以引申出許多巧妙的用法，把它比作射頻領域的表毫不為過。網絡分析和網絡分析儀是設計、調試、改進射頻電路的基本，同時也應該是常用的手段和工具。掌握網絡分析技術之后，射頻通信電路的設計制作將更加富有趣味。電感耦合高頻等離子體（ICP）是二十世紀60年代提出，70年代獲得迅速發展的一種新型的激發光源。等離子體在總體上是一種呈中性的氣體，由離子、電子、中性原子和分子所組成，其正負電荷密度幾乎相等。電感耦合高頻等離子體裝置的原理示意圖如圖10.6所示。通常，它是由高頻發生器、等離子炬管和霧化器等三部分組成。

 

隨著半導體制程技術的飛速發展,芯片線寬已經進入納米級,相應的產品對半導體產品生產環境的要求也越來越高,因此半導體潔凈室內的控制標準也提高了很多。在半導體代工廠中,潔凈室系統為整條生產線提供潔凈的環境,是硅芯片賴以生產加工基本的條件。潔凈室,是指將一定空間范圍內的空氣中的微粒子、有害空氣、細菌等污染物排除,并將室內的溫濕度、潔凈度、室內壓力、氣流速度與氣流分布、噪音振動及照明、靜電控制在某一特定需求范圍內。

因此潔凈室系統的運行狀態對硅芯片品質和良率的影響舉足輕重。近年來我國半導體工業發展迅速，半導體芯片使用了太多以往不曾使用的各種特殊材料氣體，而且其使用量有強勁的上升趨勢。特殊材料氣體所具有的危害性非常多，包括毒性，自燃性，助燃性，自行分解性，窒息性，腐蝕性等，特別是其毒性一般非常強。其次這些特殊性材料氣體中有許多對人體有害的物質，其中易燃易爆的特殊材料氣體例如硅烷泄漏后易引起火災爆炸事故的發生，另外，這些氣體多在潔凈室內具有密封性的環境中使用，一旦發生泄漏時危險性極大，其損失不可估量。

對于潔凈室內某區域溫濕度異常波動,需要巧妙運用在線檢測的數據,去系統分析任何一次超出控制的異常情況,找到引起溫濕度異常波動的真實原因,從而找到有效的對策以避免問題的再次發生。其次潔凈室耗能為一般空調系統之5~10倍，在國內自產能源匱乏且面臨能源消耗日益嚴重的情況下，如何提升無塵室空調系統的節能技術，以提升生產力與競爭力，是我們必須面對的課題。生產環境中空氣、工藝用純氣和液體的潔凈度及其他空氣參數（溫／濕度，風速，壓差）對半導體，制，電子等行業有著至關重要的作用。